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由浙江晶盛機電股份有限公司（以下簡稱“公司”）承擔的“8 英寸區(qū)熔硅單晶爐國產(chǎn)設備研制”（以下簡稱“該課題”），近日順利通過國家 02 專項驗收專家組的正式驗收。
該課題是由天津市環(huán)歐半導體材料技術有限公司承擔的“極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝”國家科技重大專項（簡稱“02 專項”）“區(qū)熔硅單晶片產(chǎn)業(yè)化技術與國產(chǎn)設備研制”項目下的課題之一。
專家組經(jīng)過實地檢查、現(xiàn)場測試、資料審查、內(nèi)部驗收及驗收前的現(xiàn)場復查等相關驗收工作后，對課題完成情況作出了總體評價意見：“課題組完成了任務合同書規(guī)定的研發(fā)內(nèi)容。研制出 8 英寸區(qū)熔硅單晶爐，各項技術指標、經(jīng)濟指標、知識產(chǎn)權指標、人才隊伍建設指標及平臺建設指標均達到任務合同書的考核要求。提供的驗收資料齊全。任務驗收專家組同意課題通過驗收?！?/span>
截至目前，通過該課題的實施，已在公司生產(chǎn)的區(qū)熔硅單晶爐上成功拉制出國內(nèi)首根 8 英寸區(qū)熔硅單晶棒，驗證了公司自主研制的區(qū)熔硅單晶爐技術取得了突破性進展，相關設備獲得了 26 項國家專利，其中爐內(nèi)晶體剪除機構、多 CCD成像和輔助加熱等技術為國際首創(chuàng)，課題產(chǎn)品已成功產(chǎn)業(yè)化并形成銷售，取得了良好的社會、經(jīng)濟效益，產(chǎn)業(yè)化前景優(yōu)勢明顯。
該課題的實施，有效地打破了國外大直徑區(qū)熔硅單晶爐的技術壟斷，縮小了我國區(qū)熔單晶硅材料制造技術與國際先進水平的差距，體現(xiàn)了公司的研發(fā)實力，有利于公司立足晶體生長與智能化加工裝備的主業(yè)，推動“新材料、新裝備”發(fā)展戰(zhàn)略全面實施。
